负责人：苑伟政

团队在MEMS集成设计、基于MEMS的灵巧蒙皮和SOI基制造技术等方面处于国内领先水平，并在微惯性器件、微光学系统、功能微纳结构表面等方面形成了研究特色。创建的“微机电系统与纳米技术”国防重点学科和“陕西省微/纳米系统重点实验室”，2011年发展成为“空天微纳系统教育部重点实验室”。经过10多年的发展，实验室已经完成建设投资6000多万元，建立了具备多种典型工艺能力的微机电系统集成制造平台，形成了MEMS集成设计单元、硅基和柔性材料微细加工单元、微/纳检测单元，成为国内首屈一指的微机电系统制造平台。建成了国内唯一的微系统工程系，国内唯一的微机电系统工程国家一流本科专业。

团队面向我国微纳系统科技发展的迫切人才需求，提出“开放、共享、融合、创新”的人才培养理念，创建高水平学科平台，开放共享优质科研资源，不同学科融合构建全新的学科和专业体系，多模式培养拔尖创新人才。该团队建成了微纳系统博、硕、本人才培养完整体系；培养出全国优秀博士学位论文奖获得者、国家技术发明奖获得者、欧盟玛丽居里学者、德国洪堡学者、教育部新世纪优秀人才等一批微纳新兴交叉学科拔尖创新人才。